| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	中大招（货）[2025]070号
项目名称	******学院IBE离子束刻蚀机采购项目
申购主题	IBE离子束刻蚀机
项目类型	货物采购	项目预算	***
最高限价	270,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2025-04-22 17:38	报名及响应结束时间	2025-04-28 09:00
采购单位	******大学
经办人	林老师	经办人电话	******
期望收货时间	合同签订后60天交货
是否送货	是	送货地址	******大学深圳校区工学园1栋
电子签章	本项目需要使用CA签字  CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外******学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（******/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离******委员会公告的加征******委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。

| 采购明细

1 采购设备	IBE离子束刻蚀机
数量	1台
参考品牌

“IBE离子束刻蚀机”技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否星号条款	是否需要附件说明
1	1、样品尺寸：≥Φ100mm；	重要	否	否
2	▲2、采用单腔结构，尺寸≥Φ350mm×400mm；证明材料提供设备实物照片	非常重要	否	是
3	3、腔体材质：304不锈钢表面电解抛光钝化处理；	重要	否	否
4	4、样品台：≥100mm水冷，样品台旋转速度≥20转/分钟，可调整角度范围≥20-90度；	重要	否	否
5	5、离子源尺寸：≥80mm；	重要	否	否
6	6、工作真空：≤10^-2pa；	重要	否	否
7	7、抽气系统：分子泵（抽速≥600L/S）+机械泵（抽速≥9L/S）抽气机组；	重要	否	否
8	8、极限真空：≤6.6×10^-5pa；	重要	否	否
9	▲9、控制方式：PLC+触摸屏控制方式；证明材料提供软件界面照片	非常重要	否	是
10	▲10、操作方式：工艺配方一键式全自动操作方式，可以设置和保存工艺参数；证明材料提供软件界面照片。	非常重要	否	是
11	11、刻蚀气体：1个，采用MFC控制；	重要	否	否
12	▲12、离子源速流：可设定和跟踪，最大速流：≥120毫安；证明材料提供实物照片	非常重要	否	是
13	▲13、最大离子束能量：≥1000电子伏特	非常重要	否	是
14	14、离子流密度：≥5毫安/平方厘米；	重要	否	否
15	15、2组灯丝，法兰水冷	重要	否	否
16	16、离子源电源：开关电源，液晶显示，电源参数、启动时间可设置，并可存储至少2组不同参数。加速极：≥600V 100mA，屏极：≥1000V 500mA，阳极：≥100V 5A。	重要	否	否
17	17、电源具有485通讯接口。	重要	否	否
18	配置清单：主机 1台，循环水冷却器 1台，空气压缩机1台，离子源电源1台。	重要	否	否

| 资质要求

序号	要求名称	条件类型	要求内容	是否需要附件说明
1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号	要求名称	要求内容	是否需要附件说明
1	免费保修年限	3年 4年 5年 6年及以上	是
2	合同履约	******学校合同范本执行 下载地址：******:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （******大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式（仅针对本项目授权请选择此项）	是
4	售后服务要求	故障响应时间不超过3小时，如果所供货物出现采购方不能修复的故障时，在接到用户通知24小时内赶到用户现场，一般问题应在48小时内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在3周内解决或提出明确的解决方案；	是
5	培训要求	提供的现场免费安装、调试设备，进行操作试验，直至运行正常，为仪器操作人员（不限人数）提供免费的操作及维护培训。	是
6	业绩要求：项目业绩：本次采购设备目的为半导体材料的表面抛光，供应商需提供从2024年1月1日至今同类型产品业绩内容，需提供业绩合同或中标通知证明材料。注：1. 提供合同件的，业绩时间以合同签订时间为准，需提供合同关键页(含签订合同双方的单位名称、合同项目名称、签订合同双方的落款签字或盖章、签订日期的关键页等)； 2. 提供中标证明材料的，需提供发票与中标证明材料的电子文件（或扫描件），业绩时间以中标证明材料发布时间为准。	0项 1项 2项 3项 4项 5项及以上	是

欢迎供应商注册 投标，如有疑问请联系技术支持QQ: ******88

1.报名须知：
   a、请登录wisdombidding.com选择相应项目，点击界面下方“我要报价”按钮。
   b、首次访问的用户需注册，经系统审核后，再登录查看可报名项目，按系统提示报名。
   c、报名材料除产品彩页外均需加盖公章，扫描上传。
2、注册审核时间为（工作日8：30 - 17:30），一般为当个工作日。
3、缴费确认时间（工作日8：30 - 17:30）：
   a、对公转账一般到账时间需要四个小时，缴费确认需要四个小时以上，节假日期间请使用微信支付。
   b、推荐使用微信支付，微信支付实时到账系统自动确认收款，可马上报价。
4、资料准备时间为1-2日，报价材料除产品彩页外均需加盖公章，请供应商提前准备。
5、供应商第一次报价可能需要较长时间，请提前报价。